Wysoka czystość 99,5% Tytanowy cel rozpylania dla systemu powłok DVD

Tytanowy cel rozpylający 99,5%, 99,95% D100x40mm, D65x6,35mm

Czystość jest głównym wskaźnikiem wydajności materiału docelowego, ponieważ czystość materiału docelowego ma duży wpływ na wydajność folii.

Główne wymagania dotyczące wydajności materiału docelowego:

Czystość jest głównym wskaźnikiem wydajności materiału docelowego, ponieważ czystość materiału docelowego ma duży wpływ na wydajność folii.Jednak w praktycznym zastosowaniu wymagania czystości celu nie są takie same.Na przykład, wraz z szybkim rozwojem przemysłu mikroelektronicznego, wielkość chipa krzemowego została zwiększona z 6”, 8” do 12”, podczas gdy szerokość okablowania została zmniejszona z 0,5um do 0,25um, 0,18um, a nawet 0,13um. Wcześniej 99,995% docelowej czystości mogło spełnić wymagania procesu 0,35um IC, podczas gdy przygotowanie linii 0,18um wymaga 99,999% lub nawet 99,9999% docelowej czystości.

Głównymi źródłami zanieczyszczeń są zanieczyszczenia w docelowym ciele stałym oraz tlen i para wodna w porach.Różne materiały docelowe mają różne wymagania dotyczące różnej zawartości zanieczyszczeń.Na przykład, cele z czystego aluminium i stopów aluminium dla przemysłu półprzewodników mają różne wymagania dotyczące zawartości metali alkalicznych i zawartości pierwiastków promieniotwórczych.

W celu zmniejszenia porowatości w docelowym ciele stałym i poprawienia właściwości napylonych filmów, tarcza zwykle musi mieć dużą gęstość.Gęstość tarczy wpływa nie tylko na szybkość rozpylania, ale także na właściwości elektryczne i optyczne błony.Im wyższa gęstość docelowa, tym lepsza wydajność filmu.Ponadto zwiększenie gęstości i wytrzymałości celu może sprawić, że cel będzie lepiej znosił naprężenia termiczne w procesie rozpylania.Gęstość jest również kluczowym wskaźnikiem wydajności celu.

Ogólnie materiał docelowy ma strukturę polikrystaliczną, a wielkość ziarna może wynosić od mikrometra do milimetra.Dla tego samego rodzaju tarczy szybkość rozpylania tarczy o małym rozmiarze ziarna jest większa niż tarczy o dużym rozmiarze ziarna, podczas gdy rozkład grubości warstewki osadzonej przez tarczę o małej różnicy wielkości ziarna (równomierny rozkład) wynosi bardziej jednolite.