Części do implantacji jonów o wysokiej czystości molibdenu w zastosowaniach półprzewodnikowych

opis produktu

Części do implantacji jonów molibdenu o wysokiej czystości w zastosowaniach półprzewodnikowych

Moly Ion Implanting Parts to technologia wiązki jonowej, która jonizuje atomy pierwiastka w jony, przyspiesza je przy napięciu dziesiątek do setek kV i wstrzykuje je w powierzchnię materiału obrabianego umieszczonego w próżniowej komorze docelowej po uzyskaniu dużej prędkości.

Po implantacji jonów właściwości fizyczne, chemiczne i mechaniczne powierzchni materiału ulegną znacznej zmianie.Ciągła odporność na zużycie powierzchni metalu może osiągnąć 2 ~ 3 rzędy wielkości początkowej głębokości implantacji.

SPECYFIKACJA I SKŁADY CHEMICZNE (NOMINALNE))

Zalety technologii implantacji części Moly Ion:

(1) Jest to czysta, wolna od zanieczyszczeń technologia obróbki powierzchni;

(2) Nie wymaga aktywacji termicznej i środowiska o wysokiej temperaturze, więc nie zmieni ogólnego wymiaru i wykończenia powierzchni przedmiotu obrabianego;

(3) Warstwa implantacji jonów jest nową warstwą powierzchniową utworzoną przez szereg fizycznych i chemicznych interakcji między wiązką jonów a powierzchnią podłoża i nie ma problemu z odrywaniem się między nią a podłożem;

(4) Nie ma potrzeby obróbki skrawaniem i obróbki cieplnej po implantacji jonów.

Obraz części do implantacji Moly Ion:

ZASTOSOWANIA części do implantacji Moly Ion

W technologii półprzewodnikowej implantacja jonów charakteryzuje się wysoką precyzją jednorodności dawki i powtarzalności.Może uzyskać idealne stężenie i integrację domieszkowania, znacznie poprawić integrację, szybkość, wydajność i żywotność obwodu oraz zmniejszyć koszty i zużycie energii.Różni się to od chemicznego osadzania z fazy gazowej.

Aby uzyskać idealne parametry, takie jak grubość i gęstość warstwy, chemiczne osadzanie z fazy gazowej wymaga dostosowania parametrów ustawień sprzętu, takich jak temperatura i natężenie przepływu powietrza, co jest procesem złożonym.

Oprócz przemysłu produkcji półprzewodników, wraz z szybkim rozwojem automatyki przemysłowej, technologia implantacji jonów jest również szeroko stosowana w ulepszaniu metali, ceramiki, szkła, kompozytów, polimerów, minerałów i nasion roślin.