Drobnoziarnisty wolframowy cel rozpylający z procesem biodrowym / ostrzowym / kuźniczym

Cel rozpylania wolframu jest ważnym podłożem dla filmu tlenku wolframu, aby zrealizować jego funkcjonalne przejście w urządzeniu półprzewodnikowym.Ze względu na wysoką temperaturę topnienia wolframu, cele wolframowe są przygotowywane głównie przez metalurgię proszków

Ze względu na wysoką stabilność temperaturową, wysoką odporność na transport elektronów i wysoki współczynnik emisji elektronów, ogniotrwałe stopy wolframu i wolframu są szeroko stosowane w produkcji półprzewodnikowych układów scalonych na dużą skalę.Wysokiej czystości tarcze z wolframu i stopów wolframu do półprzewodników.Szczegółowo przeanalizowano obszary zastosowań, wymagania eksploatacyjne i metody przygotowania materiałów oraz przewidziano kierunek rozwoju.Cele z wolframu i stopu wolframu o wysokiej czystości są używane głównie do produkcji elektrod bramkowych, okablowania połączeniowego i barier dyfuzyjnych półprzewodnikowych obwodów scalonych.Itp.,

istnieją niezwykle wysokie wymagania dotyczące czystości materiałów, zawartości zanieczyszczeń, gęstości, wielkości ziarna i jednorodności struktury ziarna.Cele ze stopu wolframu i wolframu o wysokiej czystości wykorzystują głównie prasowanie na gorąco, prasowanie izostatyczne na gorąco itp. Za pomocą spiekania o średniej częstotliwości + przetwarzania ciśnieniowego można przygotować cele wolframowe o wysokiej czystości i gęstości, ale jednorodność wielkości ziarna i struktury ziarna kontrola, nie jest tak dobra, jak cele wolframowe przygotowane przez prasowanie izostatyczne na gorąco.

Spiekana tarcza wolframowa do napylania, charakteryzująca się tym, że wykazuje gęstość względną 99 % lub więcej, średnią średnicę ziarna kryształu 100 m lub mniej, zawartość tlenu 20 ppm lub mniej i siłę odchylania 500 MPa lub więcej oraz sposób wytwarzania tarczy wolframowej ze stabilnością przy niskim koszcie, który wykorzystuje ulepszone warunki produkcji proszku wolframowego surowca i ulepszone warunki spiekania.Spiekana tarcza wolframowa charakteryzuje się wysokim poziomem gęstości i wysokim stopniem rozdrobnienia struktury krystalicznej, których nigdy nie uzyskano konwencjonalną metodą spiekania ciśnieniowego oraz znacznie poprawioną siłą ugięcia, co spowodowało znaczne zmniejszenie występowania defektów cząstek.

Materiał:Wolfram

Stan:grunt

Aplikacja:Przemysł powlekania PVD,lampa rentgenowska i tak dalej.