Części zamienne do wolframu i molibdenu do narzędzi do implantacji jonowej

Części zamienne do wolframu i molibdenu do narzędzi do implantacji jonowej

Wolframowe i molibdenowe części zamienne do narzędzi do implantacji jonów to proces próżniowy stosowany w przemyśle półprzewodników do domieszkowania płytek jonami, które zmieniają właściwości elektryczne materiału waflowego, np. przewodnictwo.Proces podzielony jest na następujące etapy: tworzenie jonów w źródle jonów, ekstrakcja i separacja masy jonów do selektywnej implantacji, skierowanie wiązki, przyspieszenie i skupienie wiązki jonów na płytce.Ten obszar implantatora jonów nazywa się linią wiązki.

Wysokowydajne materiały użyte do części w linii belek to wolfram, molibden, tantal i grafit.Dodatkowo stosowane są izolatory z ceramiki o wysokiej czystości, np. BN.

Fanmetal dostarcza wysokiej jakości materiały eksploatacyjne i komponenty zamienne do linii promieniowej w implantach jonowych AMAT, Varian i Axelis.Dodatkową usługą są modernizacje urządzeń i modyfikacje części zgodnie z wymaganiami klientów w celu usprawnienia procesów.

Schemat wiązki jonów w implantatorze jonów.

Części zamienne do wolframu i molibdenu do narzędzi do implantacji jonowej Zdjęcie: